技术参数
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等离子源
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● 等离子体射频电源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
● 输出频率: 13.56 MHz
● 三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可调节)
● 腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L
● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)
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滑动法兰
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● 有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出
● 样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性
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加热圈和温控系统
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● 加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃
● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失
● 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为: +/-1ºC
● 输入电源: AC 220V, 最大功率:500W
Coil heater Quartz protective tube Temp. Controller Heating coil Alumina boat
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两通道混气系统
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● 混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM
● 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa
● 混气箱上安装有304不锈钢针阀
● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
● 混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7")
● 净重: 14 lbs
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真空和气体接口
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标准的真空配置有
● 一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)
● 一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍
● 一个数字式真空显示计
● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air ,以及各种混合性气体
● 可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处
● (注意:不可通入易燃易爆性气体)
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真空泵
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● 仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min
● 进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr
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移动架
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设备中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面
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仪器尺寸
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● 等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D
● 温控盒: 4"H x 10"W x 8"D
● 移动架:600 x 600 x 600mm
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重量
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70 lb (包含真空泵)
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质保期
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一年质保期(不包含石英管和密封圈)
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质量认证
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CE 认证
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