OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式炉,专门针对粉末表面沉积的CVD实验,炉管为高纯石英管,炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。
技术参数 | |
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壳体结构 |
● 反应气体和均匀地通过反应区 ● 固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内 ● 炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。 ● 注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量 |
多孔石英板 |
● 孔径:5~15 um ● 尺寸:44mm I.D x 4mm t |
炉体结构 |
● 双层壳体结构并带有风冷系统 ● 炉体设计为开启式,以方便放样和取样 |
最大功率 |
1.2KW |
输入电源 |
AC220V 单相, 50/60 Hz |
最高工作温度 |
1200℃ |
连续工作温度 |
1100℃ |
最大升温速率 |
<= 20 oC /min |
炉管尺寸和材料 |
● 采用高纯石英炉管 ● 炉管尺寸:50mm; ID: 44mm; L: 610mm |
加热区 |
200mm(单温区) |
恒温区 |
100mm(+/-2oC) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 |
温控系统 |
● 可设置30段升温,保温和降温程序。 ● 采用PID方式来调节温度,并带有过热和断偶保护 ● 控温精度:+/- 1 ºC ● 控温仪表操作视频 |
加热元件 |
掺钼铁铬铝合金 |
密封法兰 |
仪器中配有一对不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表 |
操作视频 | |
外形尺寸 |
340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
重量 |
约20kg |
质保期 |
一年质保期(不包含炉管、密封圈和加热元件) |
质量认证 |
● CE 认证 ● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证 ● 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证 |
国家专利 |
● 专利名称:一种宽范围工作温度可开启式高温管式炉 ● 专利编号:ZL-2011-2-0389859. 8 ● 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
应用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度<1100℃ ● 由对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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