技术参数
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开启式管式炉
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● 双温区管式炉:两个独立的温控系统分别独立控制两个温区
● 加热区长度:温区1:200mm, 温区2:200mm
● 炉管材料:高纯石英
● 炉管尺寸:外径: 60 ×内径: 54×长: 760 mm
● 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测,仅供参考)(可点击图片查看详细资料)
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● 最高工作温度:1200℃(<1hr)
● 连续工作温度:1100℃
● 控温精度:+/-1℃
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真空密封
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配有不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表
进气端法兰接口为Φ6.35卡套接头,出气端法兰接口为KF25接口
法兰密封圈采用水冷却,使用时需要通入冷却水,可在本公司选购循环水冷机
真空度:10E-2 torr(采用机械泵),10-E5 torr(采用分子泵)
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坩埚移动机构(转轮式法兰)
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● 一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部,并与坩埚相连接(图1)
● 通过步进电机驱动使坩埚移动,并和热电偶和坩埚一起移动,实时监测样品的温度
● 进气端法兰转轮式法兰(图2)
● 可同时在转轮系统中放入4个坩埚,可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中(可在真空状态或气氛保护状态进行运作)
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坩埚移动控制
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● 通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置
● 可控制坩埚最小移动位移为1mm
● 坩埚最大移动距离为200mm
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防腐型数显真空计
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● 配有一数显防腐型真空计
● 当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换
● 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
● 因为传感器上镀有涂层,所以具有较好的抗腐蚀性
● 测量范围:3.8x10-5 -1125 Torr
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混气系统
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● 此套设备中配有一2路混气系统
● 最大输出功率:18W
● 工作温度:5-45℃
● 最大气压:3×106Pa
● 精度:±1%FS
● 质量流量计量程:
● 1:0-100sccm
● 2:1-199sccm
● 可根据客户要求选购1-5路供气系统
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产品尺寸
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2400L×600W×1300mm H
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质保
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一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件)
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质量认证
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● CE 认证
● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证
● 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证
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使用注意事项
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● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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应用注意事项
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● 此款管式炉具有多种用途
● 热蒸发:把蒸发料放在坩埚里,通过移动坩埚来精确找到所需要的蒸发温度
● HPCVD:和热蒸发相似,可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积
● 可用于制作多层二维晶体
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